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1.系统构成 传统的感应同步器测量方法可分为鉴幅式和鉴相式两大类,其共同的工作原理是首先对感应同步器施加激磁信号,然后对感应信号进行放大,通过测量感应信号的幅值或相位来反映定尺和滑尺间的相对位移量。传统的测量系统大多由分立的模拟元器件组成,使系统精度的提高受到诸多因素的限制[1]。本文介绍的测量系统采用了差频和填充二次细分方法,首先对感应信号进行差频处理,再将位移信号转载到一频率较低的信号上,然后采用微机细分以提高测量精度。采用微机控制的大规模集成电路完成信号的二次细分,可使系统结构简单,可靠性提高,同时数据处理也极为方便。测量系统的构成如图1所示。
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